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アイデアをカタチに。
M.D.Excimer.com |
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｢高照度エキシマ照射ユニット 172nm, 222nm｣
MODEL: MEUT
- 特徴 -
 172nm 高照度出力 100mW/cm2以上
222nm 高照度化達成
ランプ管面直接照射方式を採用、合成石英取出し窓不要
ランプホルダーより直接窒素を吹き付け使用量を大幅に削減
カスタム設計: ランプ本数(1灯〜)、有効長(200mm〜)
IN-LINE用、依存の設備へ容易に設置可能 |
 
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｢真空対応エキシマVUV照射ユニット｣
MODEL: MEUTV, MESV
- 特徴 -
高真空に対応したエキシマ光源 10−5Pa
無電極直接照射構造 PAT.P
エキシマランプを直接真空槽に設置
RF電源方式採用によりランプ毎に制御が可能
照度の均一性に優れるランプ独立制御機能
合成石英窓不要 |
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｢エキシマ照射装置（照射室・ワーク搬送機能付）｣
MODEL: MEIR
- 特徴 -
研究開発用途に最適な、照射室及び試料搬送機能付
ランプ管面直接照射方式を採用、合成石英取出し窓不要
ワーク搬送機能により、より均一な照度分布可能
カスタム設計: ランプ本数(1灯〜)、有効長(200mm〜) |
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「接触角計」
MODEL: CAC
- 仕様 -
手動水滴滴下シリンジ方式
または、自動水滴滴下シリンジ方式（オプション）
CCDカメラ 130万画素
試料ステージ角度 Y軸/Z軸方向移動機構
ステージサイズ 100mm〜350mm角対応
ステージサイズはご要望に応じてカスタム設計いたします
ユーティリティ AC100V±10% 50/60Hz 10VA以下 |
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会社概要
会社概要
